はじめに; 型名について - Sony BS78 Series Instruction Manual

1. 概要
はじめに
BS78は高分解能のホログラムスケールを半導体レーザを用いた光学ヘッドで読み出す高精度、高
分解能スケールです。
1-1. 特長
■ 光波干渉計を超える信号波長0.1379 umの高分解能スケール。
■ 湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性。
■ ± 0.18 um/220 mmの高精度。
■ 完全非接触なので、原理的に戻り誤差が発生しません。
■ 弊社デテクタと組み合わせることで、サブナノメートル (0.14 nm) の計測や位置決めができま
す。
■ 通常の光学スケールに比べ広い取付け許容値を持つため、取付けが大変簡単です。
1-2. 型名について
型名で有効長とスケールタイプを示します。
[例]
BS78-220 N
有効長 N 原点なしノーマルタイプ
NS 原点なし高精度タイプ
R
RS 原点付高精度タイプ
BS78
原点付ノーマルタイプ
1
(J)