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Sony BS77 Series Instruction Manual

Scale unit
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スケールユニット / Scale Unit / Maßstabseinheit
BS77
お買い上げいただき、ありがとうございます。
ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。
ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。
お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。
Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them.
Keep the manual for future references.
Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim
Betrieb des Geräts den Anweisungen. Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum
späferen Nachlesen griffbereit auf.
レーザスケール / LASERSCALE / LASERSCALE
取扱説明書 / Instruction Manual / Bedienungsanleitung

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Summary of Contents for Sony BS77 Series

  • Page 1 スケールユニット / Scale Unit / Maßstabseinheit BS77 お買い上げいただき、ありがとうございます。 ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。 ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。 お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。 Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them. Keep the manual for future references. Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Geräts den Anweisungen.
  • Page 2 [ For EU and EFTA countries ] CE Notice Making by the symbol CE indicates compliance of the EMC directive of the European Community. Such marking is indicative meets of exceeds the following technical standards. EN 55011 Group 1 Class A / 91 : "...
  • Page 3 安全のために 当社の製品は安全に充分配慮して設計されています。しかし、操作や設置時にまちがっ た取扱いをすると、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につながることが あり、危険です。また、機械の性能を落としてしまうこともあります。 これらの事故を未然に防ぐために、安全のための注意事項は必ず守ってください。操作 や設置、保守、点検、修理などを行う前に、この 「安全のために」 を必ずお読みください。 警告表示の意味 このマニュアルでは、次のような表示をしています。表示内容をよく理解してから本文 をお読みください。 警告 この表示の注意事項を守らないと、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故に つながることがあります。 注意 この表示の注意事項を守らないと、感電やその他事故によりケガをしたり周辺の物品に 損害を与えることがあります。 警告 ･ 表示された電源電圧以外での電圧で使用しないでください。火災や感電の原因となる 恐れがあります。 ･ 濡れた手による取付作業はおやめください。感電の原因となる恐れがあります。 ･ 本体を分解や改造をしないでください。ケガの恐れや、内部回路が破損することがあ ります。 注意 ･ 作業を行なう前には、装置の状況をよく確かめて作業の安全を確保してください。 ･ 電源などの駆動源は必ず切って作業をしてください。火災や事故の原因となります。 ･ 電源などを入れて動かす場合は、周辺機械や装置などに指を挟まれないように十分注 意してください。 BS77...
  • Page 4 Safety Precautions Sony Manufacturing Systems Corporation products are designed in full consideration of safety. However, improper handling during operation or installation is dangerous and may lead to fire, electric shock or other accidents resulting in serious injury or death. In addition, these actions may also worsen machine performance.
  • Page 5 RADIATION WHEN OPEN. AVOID DIRECT EXPOSURE TO BEAM. CERTIFICATION PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE. SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 1-10 KIYOKU-CHO, KUKI-SHI, SAITAMA 346-0035 JAPAN MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 2-933-725-**...
  • Page 6 Sicherheitsmaßnahmen Bei dem Entwurf von Sony Manufacturing Systems Corporation Produkten wird größter Wert auf die Sicherheit gelegt. Unsachgemäße Handhabung während des Betriebs oder der Installation ist jedoch gefährlich und kann zu Feuer, elektrischen Schlägen oder anderen Unfällen führen, die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben können. Darüber hinaus kann falsche Anwendung die Leistung der Maschine verschlechtern.
  • Page 7 RADIATION WHEN OPEN. AVOID DIRECT EXPOSURE TO BEAM. CERTIFICATION PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE. SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 1-10 KIYOKU-CHO, KUKI-SHI, SAITAMA 346-0035 JAPAN MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 2-933-725-**...
  • Page 9 一般的注意事項 以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的注意事項です。個々の詳細な取扱上の注意 は，本取扱説明書に記述された諸事項および注意をうながしている説明事項に従い，正しくお使 いください。 . 始業または操作時には，当社製品の機能および性能が正常に作動していることを確認してから ご使用ください。 . 当社製品が万一故障した場合，各種の損害を防止するための十分な保全対策を施してご使用く ださい。 . 仕様に示された規格以外での使用または改造を施された製品については，機能および性能の保 証はできませんのでご留意ください。 . 当社製品を他の機器と組合せてご使用になる場合は，使用条件，環境等により，その機能およ び性能が満足されない場合がありますので，十分ご検討の上ご使用ください。 使用上の注意事項 . スケールユニットに使用している半導体レーザの波長は可視帯域から外れた780 nm，最大出 力は3 mWです。 . スケールヘッドから出る光は目には見えませんが人体に有害ですので，検出 ヘッド部のカバーは絶対に取り外さないでください。 光が漏れる可能性がありますので，通電時にスケール挿入部分を覗き込まな いでください。また，スケｰル以外の物を差し込むことは絶対に行なわない でください。 . スケールには，それぞれ固有のスケールピッチの補正値が記入されたラベルが貼られていま す。ご使用前に必ずこの値を接続するデテクタに設定してください。(3ページをご参照くださ い。) . スケールユニットのコネクタプラグには静電気保護用キャップが付いていますので，デテクタ 接続時まで取り外さないでください。 また，コネクタプラグの静電気保護キャップ取り外し後に，コネクタピンに触れないように特 に注意してください。故障の原因となります。 . スケールユニットのコネクタとデテクタのレセプタクルを完全に接続し，ネジで固定してから 電源スイッチをONにしてください。 また，電源をONしたままコネクタを抜き差ししないでください。 . ケーブルを強く引いたり，無理に曲げてのご使用は避けてください。{曲げ半径 50 mm (内側) 以上} .

  • Page 10: Table Of Contents

    目次 1. 概要 ..................1 1-1. 特長 ......................... 1 1-2. 各部の名称 ..................... 1 2. 取付け上の注意事項 ............2 2-1. 取付けにあたって ..................2 2-2. 取付け時に準備するもの ................2 2-3. 取付けの前に ....................3 2-3-1. 補正値について ................3 2-3-2. 補正値のセット方法 ..............3 3. 取付け・調整方法 ............... 4 3-1.

  • Page 11: 各部の名称

    1. 概要 1-1. 特長 ■ マグネスケール並みの扱い易さと信頼性。 ■ 光波干渉計 (レーザ測長器) 並みの高精度，高分解能。 ■ 温度・気圧・空気の乱れに左右されない安定測長。 ■ 内挿精度，繰返し精度，戻り誤差がいずれも1/100マイクロメートルオーダの超高精度測長。 1-2. 各部の名称 コネクタプラグ スケール 取付ネジ 基準 プレート 検出ヘッド部 スケール クランプ スライダ スペーサ 接続ケーブル ケーブルクランプ 中継アンプ ヘッドケーブル 補正値ラベル 補正値ラベル スケール (有効長 10/30 mm) スケール (有効長 70 mm以上) BS77...

  • Page 12: 取付け上の注意事項

    2. 取付け上の注意事項 2-1. 取付けにあたって . スケ−ルと検出ヘッドは組合せて調整されています。複数個のスケールユニットを取扱われる 場合は，必ず同一梱包内の組合せでご使用ください。万一スケールと検出ヘッドの組合せが分 からなくなった場合は，付属の精度表に記載されている製造番号でご確認ください。 . 取付位置 (アッベ誤差) と周囲の環境 (温度, 湿度, 振動, 塵挨)  について十分ご検討ください。 . ヘッドケーブルは動力線と同一ダクトに通さないでください。 . 機械可動部の最大移動長さはスケール最大可動長以下にしてください。 有効長10, 30 mmの場合 最大可動長 = 有効長 +2 mm (片側 1 mm) 有効長70 mm以上の場合 最大可動長 = 有効長 +10 mm (片側 5 mm) (最大可動長を越えた場合はスケールユニットの信号が出力されず，エラーが発生しますので ご注意ください。) . スケールユニットは，その取付け後にスケール信号調整を必要とします。機械への取付けにあ たって，調整するためのスペースを十分とれるよう考慮してください。 (4〜12ページをご参照ください。) . ご使用前に必ずスケールの補正値を接続するデテクタにセットしてください。 2-2. 取付け時に準備するもの 測定器 . てこ式ダイヤルゲージ ........................1台 (2/1000 mmまたは1/1000 mm目盛りのもの) . ダイヤルゲージスタンド ......................... 1台 . オシロスコープ ..........................1台 2現象 X-Y表示可能なもの...

  • Page 13: 取付けの前に

    2-3. 取付けの前に 2-3-1. 補正値について スケールのホログラム格子ピッチP は約0.55 umですが，検出信号ピッチP  は原理的にこの1/4 の約0.14 umです。この値はスケールごとに若干の違いがあります。そのため，正確な移動量を 得るためには各スケール固有のピッチ補正を加える必要があります。 補正値とは20 dC温度下でのスケールユニット固有の検出ピッチ  = 0.1379[|] [|] [|] [|] um の下4桁を表します。 ご使用前に必ずスケールの補正値をデテクタにセットしてください。 20 dCと異なる温度環境でご使用になる場合 使用温度が20 dCと異なる場合には，次のように補正値の修正を行なうことにより，温度補正を 行なうことができます。使用温度が23 dCの場合の例を示します。 例) 補正値ラベルに示された補正値が[1] [2] [3] [4]の場合 0.1379 [1] [2] [3] [4] x {1  + (23_20) x (_0.7 x 10 )} = 0.1379 [1] [2] [0] [5] 20 dCとの温度差 スケールの温度膨張係数 (13ページ参照) 温度補正後の補正値は[1] [2] [0] [5]となります。この値をセットしてください。 2-3-2. 補正値のセット方法 デテクタ (BDシリーズ) 取扱説明書の「補正値の設定」の項をご覧ください。 デテクタ (BDシリーズ) の補正値は出荷時オールゼロが設定されています。この状態ではアラームが出力されご使用に なれません。必ずスケールの補正値を正しく設定してからご使用ください。 また，補正のないデテクタの場合は，分解能の計算が必要ですので各デテクタの取扱説明書をご覧ください。 BS77...

  • Page 14: 取付け・調整方法

    3. 取付け・調整方法 次の手順で行なってください。(詳細は該当ページをご参照ください。) 3-1. 取付面の準備 ............................4 3-2. スケールの取付け ..........................6 3-3. スライダの取付け ..........................9 3-4. 信号調整 ............................. 10 3-4-1. 信号調整準備 ........................... 10 3-4-2. アジマス調整 ........................... 11 3-5. 取付け・調整終了 ..........................12 3-1. 取付面の準備 1. 取付面の範囲 (図中斜線部) と面精度を確認してください。 2. 取付けネジ座標の精度を確認してください。 スケール取付面 粗さ (Rmax) 6.3S 平面度 0.01 mm以下 機械の走りに対する平行度...
  • Page 15 BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS 50 ±0.3 スケール取付面 8-M4 深6 25 ±0.2 25 ±0.2 25 ± 0.2 Rmax=6.3S 0.01 0.01 9.8 ±0.2 スケール取付面 0.03 A 38 ±0.2 単位 : mm 2-M3 深6 スライダ取付面 スライダ取付面 Rmax=12.5S 型名 注)Mはマシンガイド(機械の走り)を示します。 BS77-120N/NS 148 BS77-170N/NS 198 BS77-220N/NS 248 BS77-270N/NS, 320N/NS 10-M4 深6 88 ±0.3 スケール取付面...

  • Page 16: スケールの取付け

    3-2. スケールの取付け 3-2-1. BS77-10N/NS, 30N/NS 用意された取付面にほこり等が無いことを確認後，スケールを下図のようにマシンガイドに対し 平行に取付けます。(締め付けトルク: 0.8 N･m = 8 kgf･cm) 図の一点鎖線で示す面が基準となります。ダイヤルゲージで平行出し，または取付面に突き当て を準備してください。 M3 x 8  2本 ワッシャ 0.01 3-2-2. BS77-70N/NS〜420N/NS 用意された取付面にほこり等が無いことを確認後，基準プレートを下図のようにマシンガイ ドに対し平行に取付けます。 (締め付けトルク 1.4 N･m = 14 kgf･cm) 図中，左側が基準穴となっています。てこ式ダイヤルゲージで平行度の確認を行ないながら 右側で調整してください。 基準 0.01 基準プレートはスケールを取付ける際の突き当て基準となり，スケール精度を再現する上で重要なものです。必ず 仕様通り取付けてください。 BS77-70N/NS, 270N/NS, 320N/NS BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS, 370N/NS, 420N/NS M4 x 8 M4 x 8 2本 2本 突き当て基準面 突き当て基準面 BS77...
  • Page 17 スケールクランプを図のように取付けネジを用い，がたがある程度 (仮締めから1〜2回転戻 す程度) にセットします。 BS77-70N/NS, 270N/NS, 320N/NS BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS, 370N/NS, 420N/NS M4 x 8 基準プレート ワッシャ スケールクランプ スペーサ 基準プレート スケールの取付面および突当面にほこり， 汚れが無いことを確認してください。汚れがある 場合はアルコールを含ませたガーゼで 拭き取ってください。 取付面 突当面 スケールをスケールクランプと取付面の間に挿入し，突き当て基準面に軽く押し当てます (注 意)。基準面に押し当てながら図に示すスケールクランプ (2個使いのものは左側，3個使いの ものは中央のスケールクランプ) の取付ネジをA→B→A･･･の順序で交互に少しずつ締め付け ていきます。(最終締付けトルク 1.4 N･m = 14 kgf･cm) BS77-70N/NS, 270N/NS, 320N/NS BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS, 370N/NS, 420N/NS 図1 スケールを基準面に突き当てるときは，下図左のように基準面に対向するスケール端面を指で軽く (9.8 N = 1 kgf 以下 の力) 押さえてください。下図右のようにスケールの中央部を押さえる (4.9 N = 0.5 kgf 以上の力) など，スケールに変 形を加えたまま固定しますと所定の精度を得ることができません。(以下の手順でもこの点に十分ご注意ください。万一 強い曲げ力が加わったと思われる場合は，スケールクランプを緩め再度正しく取付けてください。) 良 不可 BS77...
  • Page 18 スケールを熱的に安定化させるために，図1の状態で1時間以上放置してください。 残りのスケールクランプをA→B→A････の順序で交互に少しずつ締め付けます。 (最終締付トルク 1.4 N･m = 14 kgf･cm) BS77-70N/NS, 270N/NS, 320N/NS BSS77-120N/NS, 170-N/NS, 220N/NS, 370N/NS, 420N/NS 両端にスケールクランプを同様に締め付けます。(最終締め付けトルク 1.4 N･m = 14 kgf･cm) BS77-270N/NS, 320N/NS スペーサ BS77-370N/NS, 420N/NS スペーサ スケール面に油や塵挨の付着がないことを確認します。汚れがある場合は，アルコールを含 ませたガーゼで拭き取ります。このときスケールの表面に拭きムラが無いことを確認してく ださい。 BS77...

  • Page 19: スライダの取付け

    3-3. スライダの取付け 取付ける機械のテーブルを移動させ，スケールのほぼ中央位置にスライダの取付け中央位置 を合わせます。 スライダとスケールの隙間が均等であることを確認し，付属の取付ネジでスライダを仮止め します。 スライダ取付ネジ (六角付ボルトM3 x 12) スケール スケールクランプ ワッシャ (呼び 3) スケール 基準プレート スライダ スライダ BS77...

  • Page 20: 信号調整

    3-4. 信号調整 3-4-1. 信号調整準備 デテクタ (BDシリーズ) とスケールユニットBS77を接続します。 スケールユニットのヘッドコネクタ部保護キャップを取り外し，デテクタの HEAD INに接 続します。 . コネクタピンには絶対に手を触れないでください。静電気により内部の電気部品が壊れる恐れがあります。輸送 時などコネクタを接続しないときは，必ず保護キャップを取付けてください。 . ヘッドコネクタの着脱は，必ずデテクタの電源を切ってから行なってください。 デテクタのシグナル調整部にオシロスコープのCH1プローブをS (SIN) とG (GND) に接続し ます。 オシロスコープのCH2プローブをC (COS) とG (GND) に接続します。 BS77とデテクタユニットBDシリーズの接続 デテクタ オシロスコープ BDシリーズ シグナル調整部 SIG OUT 詳細図 プローブ CHECK ヘッドコネクタ BS77 スケールユニット HEAD IN HEAD IN SALM LALM RESET LASER SCALE オシロスコープのCH1，CH2のINPUT COUPLINGスイッチをGNDに合わせ，信号がスク リーン中央にくるようにオシロスコープのPOSITIONを調整します。 オシロスコープのCH1およびCH2のINPUT COUPLINGスイッチをDCにします。 TIME/DIVスイッチをX-Y MODEにします。 CH1，CH2の偏向感度 (VOLTS/DIV) を0.5 V/DIVにします。 デテクタの電源をONにします。 BS77...

  • Page 21: アジマス調整

    3-4-2. アジマス調整 下図に示したような方向をアジマス方向と呼ぶことにします。スライダの向きを調整すると，規 定値 (振幅1.6 V p-p) 以上の安定した出力信号を得ることができます。 アジマス方向 アジマス方向 スライダ取付ネジをゆるめます。 スライダを図のように回転させ，リサージュの振幅が最大となる場所をみつけます。 リサージュの振幅が最大となるスライダ位置で，スライダ取付ネジを2本交互に徐々に締め付 けます。(締付トルク0.8 N･m = 8 kgf･cm) スケールを移動させて全長に渡りリサージュの振幅A, B (下図参照) が1.6 V p-p以上であるこ とを確認します。 調整を繰返しても1.6 V p-pの出力が得られない場合は，スケールとスライダの取付面精度 (参照 4〜5ページ)，お よびスケール面上にゴミの付着がないか再度ご確認ください。 BS77...

  • Page 22: 取付け・調整終了

    3-5. 取付け・調整終了 . ケーブルを付属のケーブルクランプと小ネジ (M4 x 8) で固定します。 . 中継アンプを付属のネジ (六角穴付ボルトM3 x 18) で固定します。 検出ヘッドと中継アンプは同電位にしてください。 所定の性能が得られない場合があります。 . 締付け部の安定化とスケール周辺の熱的安定化をはかるため，取付け後3時間程度放置してか らご使用ください。 スケール 小ネジ (M4 x 8) ケーブルクランプ 六角穴付ボルト M3 x 18 BS77...
  • Page 23 4. 仕様 項目 性能・機能 有効長 10, 30, 70, 120, 170, 220, 270, 320, 370, 420 mm 全長 48 mm (有効長10 mm) 68 mm (有効長30 mm) 有効長 +26 mm (有効長70〜420 mm) 最大可動長 有効長 +2 mm (有効長10, 30 mm) 有効長 +10 mm (有効長70〜420 mm) 精度 (20 dCにて) NSタイプ ± 0.03 um以下 有効長 10/30 mm ± 0.08 um以下 70/120 mm ± 0.15 um以下 170/220 mm ± 0.20 um以下 270 mm ± 0.34 um以下 320 mm ± 0.39 um以下 370 mm ± 0.44 um以下 420 mm Nタイプ ± 0.06 um以下 有効長...

  • Page 24: 外形寸法図

    5. 外形寸法図 BS77-10N/NS, 30N/NS 14.5 スケール信号検出位置 2-Ø3.4 ケーブル長1000 26.5 2-Ø3.6 高さ21 45.9 型名 ケーブル長3000 BS77-10N/NS 2-Ø3.5ザグリ深さ10 単位 : mm BS77-30N/NS BS77-70N/NS 4-M4スケールクランプ取付ネジ スケール信号検出位置 2-M4基準プレート 取付ネジ 26.5 2-Ø3.6 高さ21 45.9 ケーブル長3000 2-Ø3.5ザグリ深さ10 +0.05 Ø4 +0.05 Ø4 5-Ø5 基準穴 基準プレートt=2 スケールクランプ 単位 : mm BS77...
  • Page 25 BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS 6-M4 スケールクランプ取付ネジ 2-M4 基準プレート取付ネジ スケール信号検出位置 ケーブル長1000 mm 26.5 2-Ø3.6 高さ21 45.9 ケーブル長3000 2-Ø3.5ザグリ深さ10 +0.05 Ø4 2-Ø5 +0.05 Ø4 3-Ø5 基準穴 型名 BS77-120N/NS 146 BS77-170N/NS 196 単位 : mm BS77-220N/NS 246 スペーサt=2 基準プレートt=2 スケールクランプ BS77-270N/NS, 320N/NS 8-M4  スケールクランプ取付ネジ  スケール信号検出位置 2-M4  基準プレート取付ネジ  26.5 2-Ø3.6 高さ21 45.9 ケーブル長3000 2-Ø3.5ザグリ深さ10 +0.05 単位 : mm...
  • Page 26 BS77-370N/NS, 420N/NS 10-M4  スケールクランプ取付ネジ  スケール信号検出位置 2-M4  基準プレート取付ネジ  ケーブル長1000 mm 26.5 2-Ø3.6 高さ21 45.9 ケーブル長3000 2-Ø3.5ザグリ深さ10 +0.05 2-Ø5 Ø4 +0.05 Ø4 3-Ø5 基準穴 単位 : mm 型名 BS77-370N/NS 396 スペーサt=2 基準プレートt=2 スケールクランプ BS77-420N/NS 446 BS77...
  • Page 27 General Precautions When using Sony Manufacturing Systems Corporation products, observe the following general precautions along with those given specifically in this manual to ensure proper use of the products. . Before and during operations, be sure to check that our products function properly.
  • Page 28 Contents 1. Outline ................1 1-1. Features ......................1 1-2. Names of Parts ....................1 2. Mounting Precautions ............2 2-1. When Mounting ....................2 2-2. Mounting Requirements .................. 2 2-3. Before Mounting ..................... 3 2-3-1. Compensation Value ............... 3 2-3-2.

  • Page 29: Outline

    1. Outline 1-1. Features . Simple use and high reliability common for all Magnescale products. . High accuracy and high resolution equivalent to a light wave interferometer system. . Stable measurement unaffected by temperature, disturbed air and air pressure. . Interpolation accuracy, repeatability and return error are all held to within 0.01 µm (0.39 µinch) 1-2.

  • Page 30: Mounting Precautions

    2. Mounting Precautions 2-1. When Mounting . The scale and the detector head are adjusted to each other. If more than one scale unit is to be used, only combine them with the detector heads provided in the same packing. If you do not know which scale and detector head to use together, refer to the serial No.

  • Page 31: Before Mounting

    2-3. Before Mounting 2-3-1. Compensation Value of the scale is approximately 0.55 µm/22 µinch, while the detector signal The hologram grating pitch P is theoretically 1/4 of this, that is 0.14 µm/5.5 µinch. This value differs slightly from scale to scale. pitch R Therefore, it is necessary to additionally make the pitch compensation for each scale, in order to detect precise displacements.

  • Page 32: Mounting And Adjustment

    3. Mounting and Adjustment Follow the procedure below. (For details refer to the corresponding pages.) 3-1. Mounting Surface Preparations ......................4 3-2. Scale Mounting ............................ 6 3-3. Slider Mounting ........................... 9 3-4. Signal Adjustment ..........................10 3-4-1. Signal Adjustment Preparations ..................... 10 3-4-2.
  • Page 33 BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS 50 ±0.3 (1.969" ±0.011") 8-M4 depth: 6 (0.24") Scale mounting surface 25 ±0.2 25 ±0.2 25 ±0.2 (0.984" ±0.008") (0.984" ±0.008") (0.984" ±0.008") Rmax=6.3S (250 µinch) 0.01(0.00039") 0.01(0.00039") Scale mounting 9.8 ±0.2 (0.386"±0.008") surface 0.03(0.00118") 38 ±0.2 2-M3 depth: 6 (0.24") Slider mounting surface Slider mounting surface...

  • Page 34: Scale Mounting

    3-2. Scale Mounting 3-2-1. BS77-10N/NS and 30N/NS Check that there is no dust, etc. on the mounting surface, and mount the scale parallel to the machine guide, as shown in the figure. (Fastening torque : 0.8 N.m = 8 kgf.cm) The reference surface is shown by the dotted and dashed line in the figure.
  • Page 35 Attach the scale clamps loosely (1 or 2 full turns looser than the semi-tightened position) by using the mounting screws, as shown in the figure. BS77-70N/NS, 270N/NS, 320N/NS BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS, 370N/NS, 420N/NS M4 x 8 Reference plate Plain washer Scale clamp Spacer Reference plate...
  • Page 36 Leave the scale in the condition of Fig. 1 for one hour or more until the scale temperature stabilizes. Fix the remaining scale clamps by alternately tightening the screws. (Final fastening torque: 1.4 N.m = 14 kgf.cm) BS77-70N/NS, 270N/NS, 320N/NS BSS77-120N/NS, 170-N/NS, 220N/NS, 370N/NS, 420N/NS Fasten scale clamps on both ends of the scale with the same torque.

  • Page 37: Slider Mounting

    3-3. Slider Mounting Move the machine table and adjust the mounting center of the slider to roughly the center of the scale. Check that the gap between the slider and the scale is even, then semi-tighten the slider with the sup- plied mounting screws.

  • Page 38: Signal Adjustment

    3-4. Signal Adjustment 3-4-1. Signal Adjustment Preparations Connect the detector (BD series) to the BS77 scale unit. Remove the protective cap from the head connector of the scale unit, and connect the head connector to the HEAD IN terminal of the detector. .

  • Page 39: Azimuth Adjustment

    3-4-2. Azimuth Adjustment A stable output signal of the specified value (amplitude: 1.6 V p-p) or higher can be obtained by adjusting the slider azimuth direction. Azimuth direction Azimuth direction Loosen the slider mounting screw. Rotate the slider about the stopper as shown in the figure, until you find the point where the amplitude of the Lissajous’...

  • Page 40: Completion Of Mounting And Adjustment

    3-5. Completion of Mounting and Adjustment . Secure the cable with the supplied cable clamp and small screw (M4 x 8). . Secure the head amplifier with the supplied M3 x 18 hex. socket-head cap screw. Set the detector and the head amplifier to the same electric potential. Otherwise, the specified performance may not be attained.

  • Page 41: Spcifications

    4. Spcifications Specification Performance and functions Measuring length mm (inch) 10, 30, 70, 120, 170, 220, 270, 320, 370, 420 Overall length mm (inch) 48 mm (measuring length 10 mm) 68 mm (measuring length 30 mm) Measuring length +26 mm (measuring length 70 to 420 mm) Max.

  • Page 42: Dimensions

    5. Dimensions BS77-10N/NS, 30N/NS 14.5 (0.571") Scale signal detection position 9.8 (0.386") 6.6 (0.26") 2-Ø3.4 (0.134") 4.6 (0.181") 8 (0.315") 3 (0.118") Cable length 1000 (3.3 ft) 29(1.142") (0.138") 38(1.496") Height 21 26.5 (1.043") (0.827") 44(1.732") 64 (2.52") 2-Ø3.6 (0.142") 32 (1.26") 16 (0.63") 45.9 (1.81")
  • Page 43 BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS 6-M4 scale clamp mounting screw 60 (2.362") 2-M4 reference plate mounting screw (0.386") 2 (0.079") 50 (1.969") Scale signal detection position 25 (0.984") 25 (0.984") 25 (0.984") 9.8 (0.386") (0.0906") 6.6 (0.26") (0.181") Cable length 1000 (3.3 ft) 29(1.142") (0.138") 2-Ø3.6 (0.142")
  • Page 44 BS77-370N/NS, 420N/NS Scale signal detection position 10-M4 scale clamp mounting screw 60 (2.362") 2-M4 reference plate mounting screw 50 (1.969") (0.386") 2 (0.079") 25 (0.984") 25 (0.984") 25 (0.984") 25 (0.984") 25 (0.984") 9.8 (0.386") (0.0906") 6.6 (0.26") (0.181") Cable length 1000 (3.3 ft) 29(1.142") (0.138") 2-Ø3.6 (0.142")
  • Page 45 Allgemeine Vorsichtsmaßregeln Beachten Sie bei Verwendung unserer Produkte die folgenden allgemeinen Vorsichtsmaßregeln neben den in diesem Handbuch speziell vermerkten Hinweisen, um korrekten Gebrauch der Produkte zu gewährleisten. . Vergewissern Sie sich vor und während des Betriebs, daß das Produkt einwandfrei funktioniert. .
  • Page 46 INHALT 1. UMRISS ................1 1-1. Merkmale ......................1 1-2. Bezeichnung der Teile ..................1 2. VORSICHTSMASSNAHMEN ZUR MONTAGE ....2 2-1. Während der Montage ..................2 2-2. Montageanforderungen ................... 2 2-3. Vor der Montage ....................3 2-3-1. Kompensationswert ................ 3 2-3-2.

  • Page 47: Umriss

    1. UMRISS 1-1. Merkmale . Dieses Produkt besitzt die für alle Magnescale-Produkte typische Bedienungsfreundlichkeit und hohe Zuverlässigkeit. . Die hohe Genauigkeit und Auflösung entsprechen den Werten eines Lichtwellen-Interferometers (Laser- Interferometersystem). . Die Meßstabilität wird nicht durch Temperatur, Luftturbulenz und Luftdruck beeinflußt. .

  • Page 48: Vorsichtsmassnahmen Zur Montage

    2. VORSICHTSMASSNAHMEN ZUR MONTAGE 2-1. Während der Montage . Maßstab und Detektorkopf sind aufeinander abgestimmt. Sollen mehrere Maßstabseinheiten verwendet werden, darf jede Maßstabseinheit nur mit dem in derselben Verpackung enthaltenen Detektorkopf kombiniert werden. Die Zusammengehörigkeit von Maßstab und Detektorkopf kann anhand der Seriennummer auf der mitgelieferten Genauigkeitstabelle festgestellt werden.

  • Page 49: Vor Der Montage

    2-3. Vor der Montage 2-3-1. Kompensationswert Die Hologramm-Gitterteilung PG des Maßstabs beträgt ca. 0,55 µm, während die Detektorsignalteilung RS theoretisch 1/4 dieses Wertes, d.h. 0,14 µm, beträgt. Dieser Wert ist je nach Maßstab geringfügig unterschiedlich. Daher ist eine zusätzliche Teilungskompensation für jeden Maßstab notwendig, um genaue Verschiebungen zu erkennen.

  • Page 50: Montage Und Einstellungen

    3. MONTAGE UND EINSTELLUNGEN Gehen Sie folgendermaßen vor. (Einzelheiten entnehmen Sie bitte den entsprechenden Seiten.) 3-1. Vorbereitung der Montagefläche ......................4 3-2. Montage des Maßstabs ........................6 3-3. Montage des Schiebers ........................9 3-4. Signaleinstellung ..........................11 3-4-1. Vorbereitung zur Signaleinstellung ..................11 3-4-2.
  • Page 51 BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS 50 ±0,3 Maßstab-Montagefläche 8-M4 Tiefe: 6 25 ±0,2 25 ±0,2 25 ±0,2 Rmax=6,3S 0,01 0,01 9,8 ±0,2 Maßstab-Montagefläche 0,03 A 38 ±0,2 2-M3 Tiefe: 6 Schieber-Montagefläche Schieber-Montagefläche Einheit: mm Rmax=12,5S Modell Hinweis: „M“ bezieht sich auf die Maschinenführungsbahn. BS77-120N/NS 148 BS77-170N/NS 198 BS77-220N/NS 248...

  • Page 52: Montage Des Maßstabs

    3-2. Montage des Maßstabs 3-2-1. BS77-10N/NS und 30N/NS Vergewissern Sie sich, daß kein Staub usw. an der Montagefläche haftet, und montieren Sie den Maßstab parallel zur Maschinenführungsbahn, wie in der Abbildung gezeigt. (Anzugsmoment: 0,8 N.m = 8 kgf.cm) Die Bezugsfläche ist in der Abbildung durch die punktierte und gestrichelte Linie gekennzeichnet. Stellen Sie die Parallelität mit Hilfe der Meßuhr ein, oder versehen Sie die Montagefläche mit einem Anschlag.
  • Page 53 Befestigen Sie die Maßstabsklammern provisorisch (1 oder 2 ganze Umdrehungen weniger als die halb angezogene Position) mit den Befestigungsschrauben, wie in der Abbildung gezeigt. BS77-70N/NS, 270N/NS, 320N/NS BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS, 370N/NS, 420N/NS M4 x 8 Bezugsplatte Unterlegscheibe Maßstabsklammer Abstandsstück Bezugsplatte Überprüfen Sie Montagefläche und Bezugsfläche des Maßstabs auf Staub und Schmutz.
  • Page 54 [Hinweis] [Hinweis] [Hinweis] [Hinweis] [Hinweis] Wenn Sie den Maßstab gegen die Bezugsfläche drücken, üben Sie mit den Fingern an zwei Stellen einen Druck von 9,8 N = 1 kgf oder weniger auf die der Bezugsfläche gegenüberliegende Kante des Maßstabs aus, wie in der nachstehenden Abbildung 1 gezeigt.
  • Page 55 Ziehen Sie die Maßstabsklammern an beiden Enden des Maßstabs mit dem gleichen Anzugsmoment an. (Endanzugsmoment: 1,4 N.m = 14 kgf.cm) BS77-270N/NS, 320N/NS Abstandsstück BS77-370N/NS, 420N/NS Abstandsstück Überprüfen Sie die Oberfläche des Maßstabs auf Öl und Staub. Falls die Oberfläche verschmutzt ist, wischen Sie sie mit alkoholgetränkter Gaze ab.

  • Page 56: Montage Des Schiebers

    3-3. Montage des Schiebers Verschieben Sie den Maschinentisch, und richten Sie die Montagemitte des Schiebers ungefähr auf die Mitte des Maßstabs aus. Vergewissern Sie sich, daß der Abstand zwischen Schieber und Maßstab gleichmäßig ist, und befestigen Sie dann den Schieber provisorisch mit den mitgelieferten Befestigungsschrauben. Schieber-Befestigungsschraube (Inbusschraube M3 x 12) Maßstab...

  • Page 57: Signaleinstellung

    3-4. Signaleinstellung 3-4-1. Vorbereitung zur Signaleinstellung Schließen Sie den Detektor (BD-Serie) an die Maßstabseinheit BS77 an. Nehmen Sie die Schutzkappe vom Kopfstecker der Maßstabseinheit ab, und schließen Sie den Kopfstecker an den Eingang HEAD IN des Detektors an. [Hinweis] [Hinweis] [Hinweis] [Hinweis] [Hinweis]...

  • Page 58: Azimuteinstellung

    3-4-2. Azimuteinstellung Durch geringfügiges Verstellen der Schieberausrichtung kann ein stabiles Ausgangssignal des angegebenen Wertes (Amplitude 1,6 Vs-s) oder höher erzielt werden. Azimutrichtung Azimutrichtung Lösen Sie die Schieber-Befestigungsschraube. Drehen Sie den Schieber um den Anschlag, wie in der Abbildung gezeigt, bis Sie den Punkt finden, an dem die Amplitude der Lissajous-Figur ihr Maximum erreicht.

  • Page 59: Abschluß Von Montage Und Einstellung

    3-5. Abschluß von Montage und Einstellung . Sichern Sie das Kabel mit der mitgelieferten Kabelklemme und der kleinen Schraube (M4 x 8). . Sichern Sie den Kopfverstärker mit der mitgelieferten Inbusschraube M3 x 18. [Hinweis] [Hinweis] [Hinweis] [Hinweis] [Hinweis] Stellen Sie Detektor und Kopfverstärker auf die gleiche elektrische Spannung ein. Anderenfalls wird die angegebene Leistung möglicherweise nicht erzielt.

  • Page 60: Technische Daten

    4. TECHNISCHE DATEN Spezifikation Leistung und Funktionen Meßlänge (mm) 10, 30, 70, 120, 170, 220, 270, 320, 370, 420 Gesamtlänge (mm) 48 mm (Meßlänge 10 mm) 68 mm (Meßlänge 30 mm) Meßlänge +26 mm (Meßlänge 70 bis 420 mm) Max Verfahrweg (mm) Meßlänge +2 mm (Meßlänge 10 und 30 mm) Meßlänge +10 mm (Meßlänge 70 bis 420 mm) Maßstabsgenauigkeit (bei 20dC)

  • Page 61: Aussenabmessungen

    5. AUSSENABMESSUNGEN BS77-10N/NS, 30N/NS 14,5 Erfassungsposition für Maßstabsignal 2-Ø3,4 Kabellänge 1000 26,5 2-Ø3,6 Höhe 21 45,9 Modell Kabellänge 3000 BS77-10N/NS 2- Ø3,4 Senkungstiefe: 5 Einheit: mm BS77-30N/NS BS77-70N/NS 4-M4 Maßstabsklammer-Befestigungsschraube Erfassungsposition für Maßstabsignal 2-M4 Bezugsplatten- Befestigungsschraube 26,5 2-Ø3,6 Höhe 21 45,9 Kabellänge 3000 2- Ø3,4 Senkungstiefe: 5...
  • Page 62 BS77-120N/NS, 170N/NS, 220N/NS 6-M4 Maßstabsklammer-Befestigungsschraube 2-M4 Bezugsplatten-Befestigungsschraube Erfassungsposition für Maßstabsignal Kabellänge 1000 26,5 2-Ø3,6 Höhe 21 45,9 Kabellänge 3000 2-Ø3,4 Senkungstiefe: 5 +0,05 Ø4 2-Ø5 +0,05 Ø4 3-Ø5 Bezugsbohrung Modell BS77-120N/NS 146 BS77-170N/NS 196 BS77-220N/NS 246 Einheit: mm Abstandsstück t = 2 Bezugsplatte t = 2 Maßstabsklammer BS77-270N/NS, 320N/NS...
  • Page 63 BS77-370N/NS, 420N/NS Erfassungsposition 10-M4 Maßstabsklammer-Befestigungsschraube für Maßstabsignal 2-M4 Bezugsplatten-Befestigungsschraube Kabellänge 1000 26,5 2-Ø3,6 Höhe 21 45,9 Kabellänge 3000 2-Ø3,4 Senkungstiefe: 5 +0,05 +0,05 2-Ø5 Ø4 Ø4 3-Ø5 Bezugsbohrung Einheit: mm Modell BS77-370N/NS 396 Bezugsplatte t = 2 Maßstabsklammer Abstandsstück t = 2 BS77-420N/NS 446 BS77...
  • Page 66 したがって、当社の許可なしに無断で複写したり、説明内 容（操作、保守など）と異なる目的で本マニュアルを使用 することを禁止します。 The material contained in this manual consists of information that is the property of Sony Manufacturing Systems Corporation and is intended solely for use by the purchasers of the equipment described in this manual. Sony Manufacturing Systems Corporation expressly...
  • Page 67 保 証 書 保証規定 フリガナ お 様 名 お 1 保証の範囲 前   1 取扱説明書、本体添付ラベル等の注意書に従った正 客 〒     電話  -   -   ご 常な使用状態で、保証期間内に故障した場合は、無 様 住 償修理いたします。 所 2 本書に基づく保証は、本商品の修理に限定するもの とし、それ以外についての保証はいたしかねます。 お買上げ日  年  月  日 保 期     2 保証期間内でも、次の場合は有償修理となります。 証 間  本 体    1 ...
  • Page 68 Isehara Plant 45 Suzukawa, Isehara-shi, Kanagawa 259-1146 Japan TEL: +81 (463) 92-7971 FAX: +81 (463) 92-7978 Sony Precision Technology America, Inc. 20381 Hermana Circle, Lake Forest, CA 92630, U.S.A. TEL: (949) 770-8400 FAX: (949) 770-8408 Sony Precision Technology Europe GmbH...

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