4. 仕様
項目
有効長
全長
最大可動長
精度 (20 dCにて)
もどり誤差
繰返し精度
温度係数
光源
検出方式
使用温度範囲
保存温度範囲
付属品
スケール有効長
取扱説明書
六角穴付ボルト (M3 x 8)
六角穴付ボルト (M3 x 12)
六角穴付ボルト (M3 x 18)
六角穴付ボルト (M4 x 8)
ワッシャ (呼び3)
ワッシャ (呼び4)
基準プレート
スペーサ
スケールクランプ
ケーブルクランプ
小ネジ (M4 x 8)
精度表
梱包内容
検出ヘッド (中継アンプと接続ケーブルを含む)
スケール
付属品一式
BS77
性能・機能
10, 30, 70, 120, 170, 220, 270, 320, 370, 420 mm
48 mm (有効長10 mm)
68 mm (有効長30 mm)
有効長 +26 mm (有効長70〜420 mm)
有効長 +2 mm (有効長10, 30 mm)
有効長 +10 mm (有効長70〜420 mm)
NSタイプ
有効長 10/30 mm
70/120 mm
170/220 mm
270 mm
320 mm
370 mm
420 mm
Nタイプ
有効長 10/30 mm
70/120 mm
170/220 mm
270/370 mm
420 mm
± 0.02 um
± 0.01 um
_6
_0.7 x 10
/dC
半導体レーザ
回析格子走査式
+10〜+30 dC (結露不可)
_10〜+50 dC
10
30
70
120
1
1
1
1
2
2
_
_
2
2
2
2
2
2
2
2
_
_
6
8
4
4
2
2
_
_
6
8
_
_
1
1
_
_
_
2
_
_
2
3
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
± 0.03 um以下
± 0.08 um以下
± 0.15 um以下
± 0.20 um以下
± 0.34 um以下
± 0.39 um以下
± 0.44 um以下
± 0.06 um以下
± 0.20 um以下
± 0.35 um以下
± 0.50 um以下
± 0.65 um以下
170
220
270
320
1
1
1
1
_
_
_
_
2
2
2
2
2
2
2
2
8
8
10
10
2
2
2
2
8
8
10
10
1
1
1
1
2
2
2
2
3
3
4
4
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
370
420
1
1
_
_
2
2
2
2
12
12
2
2
12
12
1
1
4
4
5
5
1
1
1
1
1
1
13
(J)