最大応答周波数 (kHz)
分割数
分解能 (um)
800
400
160
80
40
32
注意
ヘッドPL101シリーズにおける規定範囲内で取付けを行なわなかった場合、入力信
号レベルやオフセットの変動などが生じ最大応答速度を下回ることがあります。
MJ620
100 ns
1
8
2
20
5
46
10
70
20
70
25
70
400 ns
2.5 us
2
0.0625
5
0.625
11.5
2.125
27.5
4.75
55
8.75
70
11.25
25 us
0.00625
0.05
0.2
0.45
0.875
1.125
13
(J)