horiba SF-1U Instruction Manual
  1. Manuals
  2. Brands
  3. horiba Manuals
  4. Measuring Instruments
  5. SF-1U
  6. Instruction manual
horiba SF-1U Instruction Manual

horiba SF-1U Instruction Manual

Film flow meter
Hide thumbs
Table of Contents

Advertisement

Quick Links

自動式精密膜流量計
FILM FLOW METER
SF-1U/2U
取扱説明書
Instruction Manual
CODE: I030248700E

Advertisement

Table of Contents
loading
Need help?

Need help?

Do you have a question about the SF-1U and is the answer not in the manual?

Questions and answers

Related Manuals for horiba SF-1U

Summary of Contents for horiba SF-1U

  • Page 1 自動式精密膜流量計 FILM FLOW METER SF-1U/2U 取扱説明書 Instruction Manual CODE: I030248700E...
  • Page 2 May, 2016 © 2004 - 2016 HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • Page 3 安全上の注意  ご使用になる前に、必ず「安全上の注意」をお読みのうえ正しくお使いください。  本書では、お客様や他の人々への危害や財産への損害を未然に防止するために、危険を伴う操作・ お取り扱いについて、次の記号で警告表示を行っています、内容をよくご理解の上で本文をお読み ください。    警告  誤った取扱いをしたときに、死亡や重傷などの重   大な結果に結びつく可能性があるもの  注意  誤った取扱いをしたときに、傷害または家屋・家   財などの損害に結びつくもの    図記号の例  注意（警告を含む）を示します。  具体的な注意内容は、図記号の中や近くに絵や文章で指示します。   禁止（してはいけないこと）を示します。  具体的な禁止内容は、図記号の中や近くに絵や文章で指示します。   強制（必ずすること）を示します。  具体的な強制内容は、図記号の中や近くに絵や文章で指示します。     重 要  ：故障や誤った測定の防止のため、特に守っていただきたい内容。  参 考  ：測定精度をよくするため、参考にしていただきたい内容。    警告     反応性ガスは流さない。  水分や酸素と反応するガスは流さないで下さい。本製品は完全な機密構造に はなっておりません。また、成膜用に液体(石けん液)を使用しておりますの   で、反応性ガスを流されますと反応し、爆発・火災の原因となります。  排気をする。  安全な場所に排気を行なって下さい。排気を行なわないと、爆発・火災・中...
  • Page 4   注意     コネクタ端子をショートさせない。  火災や故障の原因となります。    衝撃を与えない。  本製品にはガラスを使用しております。衝撃を与えると破損を招き、けがの   原因となります。   体積管ユニットを確実に固定する。  体積管ユニットを本体に装着するときは着脱レバーの操作を確実に行い、固 定してください。 固定せずに使用や持ち運びをしますと、 転倒や脱落を招き、     けがや故障の原因となります。 長期間使用しないときは、電源プラグをコンセントから抜く。 絶縁劣化による感電や漏電火災の原因となります。        警告ラベルの紹介  警告ラベルの内容と位置は図の通りです。                        J-ii ...
  • Page 5 ガスの取扱いに関するご注意 ガスは、取扱いを誤れば大きな事故を招きます。本装置に、有毒ガス、可燃性ガスを使 用される場合には、取扱いに十分注意を払って下さい。また、高圧ガスを使用される場合 には、高圧ガスの一般的注意事項を厳守して下さい。    １．排気について  可燃性ガスを使用される場合には必ず排気チュ−ブを接続して、ドラフトなど安全な場所 に排気して下さい。    ２．高圧ガスの取扱上の事項  〜社団法人東京高圧ガス防災協会発行「高圧ガスの取扱い方」より引用〜    ２−１  一般的注意事項  1)容器証明のないものは、容器として使用することができません。  2) ガスの充てん、または詰替えは、必ず許可された製造所で行い、それ以外のところで 行うことはできません。  3) 高圧ガス容器には、それぞれ指定されたガスがつめられています。ガスを間違えない ようにして下さい。  4) 容器は常に注意深く取扱ってください。とくに雨天の際など水に濡れている場合には 容器がすべりやすいので注意を要します。  5) 容器の転倒、転落防止のため、移動、貯蔵あるいは消費の際は、必ずロ−プなどで固 定してください。  6) 容器に衝撃を与えたり、粗暴な扱いをしないで下さい。  7) 容器は、他の用途に使用しないで下さい。  8) 常に、整理整頓をして、危険のないようにして下さい。    ２−２  消費上の注意事項  1)容器の温度は、40℃以下に保って下さい。  2) 火気の取扱いに注意し、引火性、発火性のものは除去して下さい。  3) 容器はなるべく立てて使用し、倒れないようにロ−プなどを用いて固定して下さい。  4) 高圧部の配管には、ホ−ス類を使用しないで下さい。低圧部にホ−ス類を使用する場...

  • Page 6: Table Of Contents

    目  次  ページ  はじめに  ................ 1 概要  ................ 2 動作原理  ................ 2 パッケージの確認  .............. 2 製品仕様  ................ 3 各部説明  ................ 4 操作説明  ................ 6 6.1. 準備  ................ 6 6.1.1. 測定場所  .............. 6 6.1.2. 電源接続  .............. 6 6.1.3. 体積管ユニット装着  ............ 7 6.1.4. 成膜液注入  .............. 7 6.1.5. 配管接続  .............. 8 6.1.6.

  • Page 7: はじめに

    はじめに  このたびは精密膜流量計 SF-1U/SF-2U をお買い上げいただき誠にありがとうございます。  この取扱説明書は、製品を取り扱う人を対象に書かれています。  装置を正しく安全にお使いいただくために、 ご使用になる前に本書をよくお読みのうえ、 十分にご 理解いただいてからお使いください。  この取扱説明書は、 お読みになった後も、 お使いになる方がいつでもご覧になれるところに保管し てください。    保証と責任の範囲     保証期間  ご購入後１年間とし、 この期間内に発生し、 幣社にご連絡いただいた故障については無償 で修理いたします。  保証期間内の故障につきましては、 初期不良及び取扱説明書に記載された事項を遵守いた だいたにもかかわらず、 発生した故障及び不具合に対し無償にて修理又は交換をさせて頂き ます。  無償保証期間終了後に発生した故障及びハード ・ ソフトウエアのバージョンアップにつき ましては、有償とさせて頂きます。  製品の寿命に関しては、 安全上の問題及び部品供給等の問題から製造後１０年を目安とさ せて頂きます。     保証範囲  保証の範囲は、この装置に限定させて頂きます。  例えば、この装置の故障によって生じる損害（利益損失、顧客の信用、設備、財産）の保 証等は、ご容赦願います。 ...

  • Page 8: 動作原理

    モータ 成膜液  演算部 スタート 本体  気圧センサ  水蒸気圧(近似式) 表示器   図 1 動作原理説明図  3. パッケージの確認  開梱時、次の物がそろっているか確認してください。   本体      SF-1U または SF-2U  1 台     成膜液      Snoop® 59ml    1 本   取扱説明書（本書）  I030248700    1 冊   ...

  • Page 9: 製品仕様

      4. 製品仕様    名称  自動式精密膜流量計  本体型式  SF-1U/2U  体積管ﾕﾆｯﾄ型式  VP-1U  VP-2U  VP-3U  VP-4U  公称体積  0.4 ml  2 ml  20 ml  200 ml  流量測定範囲  0.2〜10 ml/min  2〜100 ml/min  20〜1000 ml/min  0.2〜10 L/min  測定時間  120〜2.4 sec  60〜1.2 sec  60〜1.2 sec  60〜1.2 sec  ±0.5％  0.2〜2 ml/min  2〜20 ml/min  20〜200 ml/min  0.2〜1 L/min  精度  ±1.0％  2〜10 ml/min  20〜100 ml/min  200〜1000 ml/min  1〜10 L/min  ±0.2％ ...

  • Page 10: 各部説明

      5. 各部説明  ⑦ ⑤  ⑥  ④  ①  ③  ② ⑪ ⑧ ⑩ ⑨    ⑫  ⑬  ⑰  ⑭  ⑮  ⑯    図 2 各部説明図  J-4 ...
  • Page 11   計時表示  有効数字  4 桁     大気圧表示  有効数字  小数点以下 1 桁  動作  リアルタイム表示（計測終了時のホールドなし）  表示範囲  730〜1070hPa(気圧測定範囲 930〜1040hPa,SF-2U) 項目表示  マニュアル入力時 Ｈ．※※※※.※hPa  大気圧計測時   Ａ．※※※※.※hPa  (SF-1U はマニュアルのみ。※は大気圧を示す)     各種警報表示  Ａ１：−−−−  スタートディテクタ 検出異常⇒8.2  Ａ２：−−−−  ストップディテクタ検出異常⇒8.3  Ａ３：−−−−  ディテクタ光量低下異常⇒8.4  Ａ４：−−−−  電圧低下異常⇒8.5  Ａ１：−−−Ａ  自動湿らし異常⇒8.2     校正温度表示  「０：  ※※．※ ...

  • Page 12: 操作説明

      6. 操作説明  6.1. 準備  6.1.1. 測定場所    重 要  次のような場所は測定場所として適しませんのでご注意ください。     床が傾斜している場所   強力な強制吸排気を行っている場所   直射日光や強い光の当たる場所   結露や濡れる可能性のある場所    急激な温度変化を受ける場所  強い風が当たる場所    冷暖房機器に近い場所  扉の開閉の多い部屋   振動のある場所      参 考  精密な測定を行う場合、温度管理された室内で恒温槽を用いて行ってください。     6.1.2. 電源接続  本体背面の電源ジャックに専用 AC アダプタ及び電源ケーブルを接続し、プラグをコンセントに 差し込んでください。 ...

  • Page 13: 体積管ユニット装着

      6.1.3. 体積管ユニット装着  ①  測定流量にあった体積管ユニット(VP-1U〜4U)をコネクタ及び接続部の切り欠きが本体接続 部のピンに合うように装着します。  ②  着脱レバーを図の矢印の方向に回し固定します。  ※  体積管ユニットを取り外すときは②のレバーを戻し、 SF 本体を押さえてゆっくりと取り外し てください。  注意     体積管ユニットを確実に固定する。  体積管ユニットを本体に装着するときは着脱レバーの操作を確実に行い、固 定してください。 固定せずに使用や持ち運びをしますと、 転倒や脱落を招き、     けがや故障の原因となります。 ①  成膜液  ® Snoop   ②  切り欠き  ピン  コネクタ             図 3 体積管ユニット装着  図...

  • Page 14: 配管接続

      6.1.5. 配管接続  ①  測定ガス入口に配管(チューブ)を接続してください。  VP-1U〜3U：外形 6mm ホース継ぎ手(内径 5〜6mm 軟質チューブ用)  VP-4U：外形 10mm ホース継ぎ手(内径 9〜10mm 軟質チューブ用)  ②  測定ガス出口に配管(チューブ)を接続してください。  外形 10mm ホース継ぎ手(内径 9〜10mm 軟質チューブ用)    警告     反応性ガスは流さない。  水分や酸素と反応するガスは流さないで下さい。本製品は完全な機密構造に はなっておりません。また、成膜用に液体(石けん液)を使用しておりますの   で、反応性ガスを流されますと反応し、爆発・火災の原因となります。  排気をする。  安全な場所に排気を行なって下さい。排気を行なわないと、爆発・火災・中   毒等の原因となります。      測定ガスは測定雰囲気温度に十分熱交換してください。測定ガスと周囲温度に差 重 要  ...

  • Page 15: 校正温度設定

      6.1.6. 校正温度設定  測定結果を表示する際の校正温度を設定します。（工場出荷時 25℃）  ①  セットキー”△”を押しながら、電源スイッチを入れ、そのままセットキー”△”を 5 秒間押 し続けてください。校正温度設定モードになります。  ②  セットキーを使い、希望の校正温度を設定してください。入力範囲は 0〜35℃です。“△” と”▽”を同時に押すと 25℃になります。  ③  電源スイッチを切ると設定がエントリーされます。（電源を切っても設定値は記憶され ています。）  ※  校正温度は次の二つの方法で確認できます。   通電開始直後、バージョン情報の後に表示されます。（約 3 秒間）   温度表示の状態でセットキー“△”  ”▽”のどちらかを押す。 （自動測定モードを除く。 ）     6.1.7. 電源投入  電源スイッチを入れると、表示部にバージョン情報が表示され、引き続き校正温度が表示されま す。（各々約 3 秒間表示）   校正温度の設定が正しいことを確認してください。設定値が誤っていますと、正 重 要  ...

  • Page 16: 大気圧入力

      6.2.2. 大気圧入力   SF-1U の場合  ①  セレクトキーを押し表示を大気圧表示にしてください。  ②  セットキーにより、大気圧を設定してください。（設定範囲：730〜1070hPa）  セットキーの”△”と”▽”を同時に押すと、1013.3hPa になります。     SF-2U の場合  内蔵の大気圧センサの出力を使用しない場合、次の手順で大気圧を入力してください。  ①  セレクトキーを押し表示を大気圧表示にしてください。  ②  セットキーの”△”と”▽”を同時に 2 秒以上押し続けてください。  ③  大気圧入力モードになり、表示の左端の文字が”Ａ”から”Ｈ”に変わり、単位表示灯が点灯から 点滅に変わります。  ④  セットキーにより、大気圧を設定してください。（設定範囲：730〜1070hPa）  セットキーの”△”と”▽”を同時に押すと、1013.3hPa になります。  ※  大気圧入力モードを終了する場合、セットキーの”△”と”▽”を同時に 2 秒以上押し続けるか、 電源スイッチを切ってください。     大気圧の設定が正しいことを確認してください。設定値が誤っていますと、正確 重 要  ...

  • Page 17: 演算式

       自動測定  ①  オートキーを押してください。  ②  オートキーの表示灯が点灯し、自動測定モードになります。  ③  セットキーにより自動測定の回数を設定してください。  ＡＵ：    ※※  ※は回数設定値(02〜10)  ④  スタートキーを押すと、自動測定を開始します。  ⑤  開始直後のウォームアップとして 1 回測定を行います。測定結果は無効になります。  各回の測定中には”※−”を表示し※回目の測定であることを示します。（※が”Ａ”のとき は 10 回目を示します。）その他の表示の流れは通常測定の場合と同じです。  ⑥  自動測定が終了すると断続的にブザーが鳴ります。  ⑦  セットキーを押すと、表示が切り換わり、各回の測定値が確認できます。 （”ｄ１”〜”ｄ９” は 1〜9 回目。”ｄＡ”は 10 回目。）  表示の左が”ｄ０”の値は平均値を表します。  セレクトキーを押すと表示が切り換わり、計測時間、温度、大気圧が確認できます。  ※  自動測定を中止するときはセレクトキーを押しながらスタートキーを押してください。  ※  自動測定の間隔は前回測定時間の 1/4 となります。（但し、最短 3 秒、最長 10 秒）  ※ ...

  • Page 18: 日常保守

      7. 保守  7.1. 日常保守  7.1.1. 成膜液の補充  液レベル窓より常に液量を確認してください。液レベルが下の青い線に近づきましたら、成膜液 を補充してください。⇒6.1.4    7.1.2. 成膜液の交換  液が汚れたり、膜ができにくくなった場合は速やかに成膜液を交換してください。  体積管ユニットを傾け、 測定ガス入口より液を排出し、 新しい成膜液を注入してください。 ⇒6.1.4    7.1.3. 体積管の洗浄  体積管が汚れた場合、次の手順で洗浄してください。  ①  体積管ユニットを傾け、測定ガス入口より液を排出してください。  ②  体積管ユニットより長めのビニールチューブ等を測定ガス入口に接続してください。  ③  ビニールチューブの端を持ち上げた状態で、きれいな水（汚れがひどい場合は中性洗剤 等）を注入し、ストップディテクタの位置まで体積管内を満たしてください。  ④  しばらく放置した後、ビニールチューブの端を下ろし、水（洗剤）を排出してください。  ⑤  洗剤を使用した場合はきれいな水で③④の操作を 2〜3 回行ってください。  ⑥  液を完全に排出できたら、成膜液を注入してください。⇒6.1.4    7.2. 定期点検  いつまでも精度よくお使いいただくために、定期点検・精度確認・再校正を有償にて行います。 詳しくは、お買い求めいただいた代理店、または弊社までお問い合わせください。SF-2U,VP につき...

  • Page 19: トラブルチャート

      8. トラブルチャート    万一、本装置が正常に動作しない場合は、敏速なサ−ビス対応を行う為、弊社に修理の依頼をさ れる前に可能な限り、次の各項目により点検を行って下さい。    8.1. 電源が入らない                                          電源が入らない          供給電源確認             異常   ...

  • Page 20: A1 アラーム発生

      8.2. A1 アラーム発生    （スタートディテクタ検出異常）                A1 アラーム発生                  成膜状態確認     異常                                                                                 ...

  • Page 21: A2 アラーム発生

      8.3. A2 アラーム発生  （ストップディテクタ検出異常）    A2 アラーム発生                  成膜状態確認                    異常                 正常           成膜動作確認              異常                        異常                   ...

  • Page 22: A3 アラーム発生

      8.4. A3 アラーム発生  （ディテクタ光量低下）              A3 アラーム発生               体積管内の汚れ             異常                 正常     洗浄    ※ディテクタ  点検、修理、オーバーホール    ※印は幣社又は代理店作業になります。修理依頼を願います。     A3 アラーム    （表示  Ａ３：−−−−）  ディテクタ光量低下です。体積管内壁の汚れ等により発生します。体積管の洗浄を行っ...

  • Page 23: 膜が複数枚出来る

      8.6. 膜が複数枚出来る                膜が複数枚出来る         異常        成膜液量確認          液量調節       正常      ※膜割機構、成膜機構、成膜リング、体積管  確認、調節、オーバーホール、交換                                  ※印は幣社又は代理店作業になります。修理依頼を願います。   ...

  • Page 24: 付録 A コンピュータ通信仕様

    付録 A コンピュータ通信仕様    SF-1U/U2 を通信用の専用ケーブルでホストコンピュータ(CPU)に接続することにより、 流量計 測をプログラムによって自動的に行う事が出来ます。    接続方法  1.1. ハード仕様(RS-232C 規格準拠)  ① 歩調同期（非同期）方式  ② データビット        8 ビット/1 キャラクタ  ③ ストップビット      2 ビット  ④ パリティ            NON    1.2. ボーレート設定（工場出荷時 9600 bps） ...
  • Page 25   コマンド仕様  2.1. 本体操作部について  セレクトキーのみ操作可能となり、他のキーは反応しなくなります。  本体はホストコンピュータ(CPU)から送信されてくる通信コマンドを待ち、送られてきたコマン ドに応じて本体の制御を行うと共にレスポンスデータをホストコンピュ−タ(CPU)へ返信します。    2.2. 通信コマンド(CPU⇒SF)    ｺﾏﾝﾄﾞ  ﾌｫ-ﾏｯﾄ  ﾃﾞﾘﾐﾀ  ｺﾏﾝﾄﾞ動作説明  "E"  <CR>  セレクトキーとスタートキーを同時に押したときと同様、 通常計測・自動計測・自動湿らし動作の強制停止を行いま E  す。  "R"  <CR>  スタートキーを 1 秒以上押したときと同様、 自動湿らし動 R  作を行います。  "S1"  <CR>  スタートキーを押したときと同様、 通常計測動作を行いま す。  "S0"  S2〜10 以外  <CR>  "S2"  <CR>  2 回自動計測動作  オートキーの表示灯点灯時に、 スター トキーを押したときと同様、...
  • Page 26   2.3. 通信コマンド(SF⇒CPU)  ※コンピュータは、常に受信可能状態にしておいて下さい。  ① S コマンドによる通常計測動作及び自動計測動作が正常に終了した場合、以下の順序にて計 測結果を返信します。  順序  ﾌｫ-ﾏｯﾄ  ﾃﾞﾘﾐﾀ ﾚｽﾎﾟﾝｽﾃﾞ-ﾀ説明  "FRML123.4"  <CR> 通常計測  1L/min 未満のときの測定流量  各流量範囲での少数点の位置  "FRML123.4:123.4:123.4"  <CR> 2 回自動計測    0.000〜9.999ml/min  "FRML123.4:123.4:123.4:123.4" <CR> 3 回自動計測    10.00〜99.99ml/min  ⋮   ⋮   ⋮     100.0〜999.9ml/min  ⋮   ⋮   ⋮    ...
  • Page 27   ② R コマンドによる自動湿らし動作が正常に終了した場合、準備完了通知を返信します。  ﾌｫ-ﾏｯﾄ  ﾃﾞﾘﾐﾀ  ﾚｽﾎﾟﾝｽﾃﾞ-ﾀ説明  "STBY"  <CR>  自動湿らし動作終了時    ③ R，S，P コマンドを読込んだときに本体が通常計測動作，自動計測動作，自動湿らし動作の 何れかを起動している場合、読込んだコマンドは無視され、現在の計測動作状態を返信しま す。  ﾌｫ-ﾏｯﾄ  ﾃﾞﾘﾐﾀ  ﾚｽﾎﾟﾝｽﾃﾞ-ﾀ説明  "S1"  <CR>  通常計測動作中のとき  "S2"  <CR>  2 回自動計測か計測動作中のとき  "S3"  <CR>  3 回自動計測か計測動作中のとき  ⋮   ⋮   ⋮   ⋮   ⋮   ⋮...
  • Page 28   ⑤ 待機中に、E，P コマンドを読込んだときや電圧降下異常が発生した場合、または、待機中 電圧降下異常が発生中しているにも関わらず、E，R，S，P コマンドを読み込んだ場合、停 止中通知、現在のパラメ−タの設定状態、アラ−ム状態を返信します。    順序  ﾌｫ-ﾏｯﾄ  ﾃﾞﾘﾐﾀ  ﾚｽﾎﾟﾝｽﾃﾞ-ﾀ説明  1  "STP2"  <CR>  待機中のとき  "ST.T̲25.0"  <CR>  基準校正温度 ※̲は空白です｡  2  "ST.T̲̲0.0"  <CR>  "MJ.T̲25.4"  <CR>  計測温度  ※̲は空白です｡  3  "MJ.T̲̲9.4"  <CR>  "AT.P1070.0"  <CR>  設定大気圧  ※̲は空白です｡  4  "AT.P̲730.0"  <CR>  "A0"  <CR>  異常が発生していないとき  5 ...

  • Page 29: 付録 B プリンタ通信仕様

    付録 B プリンタ通信仕様    SF-1U/2U を専用ケーブル(オプション)で専用プリンタに接続することにより、計測結果を専 用プリンタに印字する事が出来ます。    接続方法  3.1. プリンタ仕様(RS-232C 規格準拠)  ① 歩調同期（非同期）方式  ② データビット        8 ビット/1 キャラクタ  ③ ストップビット      2 ビット  ④ パリティ            NON    3.2. ボーレート設定（工場出荷時 9600 bps） ...
  • Page 30   プリントアウト仕様    計測が正常に終了したときに、以下の計測デ−タの出力を行います。     通常計測データプリンタフォーマット          例 1  例 2      **** STD.TEMP 25.0 ﾟ C**  **** STD.TEMP  0.0 ﾟ C**    **** Ordinal**** Ordinal    FLOW RATE   1.984 l/min  FLOW RATE   1.984 ml/min    TEMPERATURE  24.8 ﾟ C  TEMPERATURE   9.9 ﾟ C    AT.PRESSURE 1013.0hPa  AT.PRESSURE 1013.0hPa    TIME        1.009 sec  TIME        1.009 sec     自動計測データプリンタフォーマット          例 1  例 2   ...
  • Page 31 Safety instructions Be sure to read this “Safety instructions” section before using this equipment. Read and understand these messages thoroughly before operating the equipment.        Failure to abide by the information in a WARNING WARNING may result in serious injury and can  ...
  • Page 32   CAUTION     DO NOT SHORT CIRCUIT CONNECTER TERMINALS. Short circuit may cause damage or injury through fire.    AVOID IMPACT This equipment has a glass tube inside. Having impact may cause damage or injury through glass broken.   BE SURE TO FIX MEASURING UNIT.
  • Page 33 Conformable Directive This equipment conforms to the following directives and standards; [the EMC Directive] EN61326-1 Emission: class B Immunity: Basic electromagnetic environment   This product is not intended for use in industrial environments. In an industrial environment, electromagnetic environmental effects may cause the incorrect performance of the product in which case the user may be required to take adequate measures.
  • Page 34 Precaution Concerning Handling of Gas Improper handling of gas can lead to result in serious accidents. Thorough care should be given in handling when toxic gas or inflammable gas is used in the system. Also, please observe the general precautions of high pressure gas when used in the system.
  • Page 35 Contents page  Introduction ............................1 Outline............................2 Principles ............................2 Checking the Accessories ......................2 Specifications ..........................3 Description of each part ......................4 Operating Instructions ......................... 6 6.1. Preparation ..........................6 6.1.1. Measurement site ......................6 6.1.2. Power connection ......................6 6.1.3.

  • Page 36: Introduction

    Before operating this product, please read the instructions carefully and save this manual for future use. Always operate and maintain the equipment correctly so that the HORIBA STEC,CO.,LTD. product can serve you best over a long period of time.

  • Page 37: Outline

    Atmospheric Vapor pressure body pressure sensor Approximate expression   Fig.1 Principles 3. Checking the Accessories  Equipment body SF-1U or SF-2U x1 ®    Filming liquid Snoop 59ml  Instruction manual I030248700 ※  Separately, a dedicated AC adapter set is required.

  • Page 38: Specifications

      4. Specifications   Name FILM FLOW METER Model SF-1U/SF-2U Measuring unit model VP-1U VP-2U VP-3U VP-4U Nominal volume 0.4 ml 2 ml 20 ml 200 ml Flow rate measurement 0.2〜10 ml/min 2〜100 ml/min 20〜1000 ml/min 0.2〜10 L/min range Measurement time 120〜2.4 sec...

  • Page 39: Description Of Each Part

      5. Description of each part ⑦ ⑤  ⑥  ④  ①  ③  ② ⑪ ⑧ ⑩ ⑨    ⑫  ⑬  ⑰  ⑭  ⑮  ⑯    Fig.2 Description of each part E-4 ...
  • Page 40 Range of atmospheric pressure 730 to 1070 hPa measurement: 930 to 1040 hPa) Manual input     Ｈ．※※※※.※hPa  Mode display: Atmospheric pressure measurement Ａ．※※※※.※hPa （SF-1U has only manual input function.）    Ａ１：−−−−  Alarm Start detector detects abnormality.⇒8.2  Ａ２：−−−−  Stop detector detects abnormality.⇒8.3 ...

  • Page 41: Operating Instructions

      6. Operating Instructions 6.1. Preparation 6.1.1. Measurement site   NOTE  The following areas are not appropriate for measurement.   Areas where the floor is not level. Areas with forced air intake or exhaust.   Areas where exposed to direct sun rays. Areas where condensation occurs or ...

  • Page 42: Installing Measuring Unit

      6.1.3. Installing measuring unit Install the measuring unit (VP-1U-VP-4U) suitable for the intended flow rate ① measurement as follows. Align hook pin on the equipment with the groove on the measuring unit to insert. ②  Turn the fixing lever to the direction arrow in Fig.3 to complete the installation. ※ ...

  • Page 43: Piping

      6.1.5. Piping Connect the tube to the measurement gas inlet. ① VP-1U〜3U：Outer diameter 6 mm hose connector (For soft tube of inner diameter 5-6 mm) VP-4U：Outer diameter 10 mm hose connector (For soft tube of inner diameter 9-10 mm) Connect the tube to the measurement gas outlet.

  • Page 44: Setting Calibration Temperature

      6.1.6. Setting calibration temperature Set to 25℃ at the factory: The calibration temperature is set to correct the measured flow rate to the value at the calibration temperature. For example, set this value to "25℃" when calibrating a flow meter designed for one atmospheric pressure.

  • Page 45: Measurement

      6.2. Measurement 6.2.1. Wetting inside measuring tube In the beginning of operation, liquid films break in the middle of the process because the interior walls of the measuring tube are dry. In the manual/auto mode, let the measurement gas or inert gas such as N flow so that the films wet the interior walls of the measuring tube.

  • Page 46: Measurement

      6.2.3. Measurement This equipment has two ways to have measurements, normal measurement and automatic measurement. Certain numbers of measurement will carry out automatically, and you can get the results for each measurement and their average by automatic measurement. Normal measurement ...

  • Page 47: Explanation On Flow Rate Expression

    ※  When checking the automatic measurement results after resetting the automatic measurement mode, press the AUTO key twice to enter the automatic measurement mode/data call-up. (The indicator on the AUTO key flashes.) Then, follow the procedures as described in ⑦ above. ※ ...

  • Page 48: Maintenance

    SF-1/SF-2 operates correctly and accurately. It is recommended that the volume value and atmospheric pressure value should be inspected every year. Consult HORIBA STEC,CO.,LTD. or your dealer for quotation and other details. 7.2.1. Parts replacement frequencies When to replace certain parts depends on the operating frequencies and measurement fluids.

  • Page 49: Troubleshooting

                  Plug in again        Normal ※Check, repeair or replace wiring, or circuit board. Items marked with “※ ” are services from HORIBA STEC,CO.,LTD. or your dealer. Placing order for the services is recommended.   E-14 ...

  • Page 50: A1 Alarm

    Clean measuring tube Normal ※Check, repair or overhaul detector   Items marked with “※” are services from HORIBA STEC,CO.,LTD. or your dealer. Placing order for the services is recommended.     A1 alarm (Ａ１：−−−−)  This alarm is generated if the time from film creation to its detection by the start detector takes more than 120 seconds (180 seconds for VP-1U) due to film breakage or attempting to measure a flow rate outside the specification range.

  • Page 51: A2 Alarm

                                        Clean measuring tube        Normal   ※Check, repair or overhaul detector     Items marked with “※” are services from HORIBA STEC,CO.,LTD. or your dealer. Placing order for the services is recommended.      A2 Alarm (Ａ２：−−−−) ...

  • Page 52: A3 Alarm

    Normal Clean measuring tube ※Check, repair or overhaul detector   Items marked with “※” are services from HORIBA STEC,CO.,LTD. or your dealer. Placing order for the services is recommended.    A3 alarm (Ａ３：−−−−)  The luminous energy of the detector is low. This occurs when the interior walls of the measuring tube are contaminated or a similar event occurs.

  • Page 53: More Than One Film Are Created

    Adjust liquid level ※Check, adjust, overhaul or replace filming mechanism or measuring tube   Items marked with “※” are services from HORIBA STEC,CO.,LTD. or your dealer. Placing order for the services is recommended.    8.7. Clock does not work  ...

  • Page 54: Appendix A Computer Communication Specifications

    This makes operable the remote control of the equipment from the host computer (CPU). 1.4. Dedicated communication cable Use following cable:※   SF CABLE Type: SC-NSF-PCV  （2m）  No. S089362（3024059056）   Maker: HORIBA STEC,CO.,LTD. ※Specifications are different from the commercial RS-232C crossing cable . E-I ...
  • Page 55 Command specifications 2.1. Equipment operating console The equipment is operative only by the SELECT key. Receiving the communication commands described in 2.2 below from the host computer (CPU), the equipment controls itself according to the commands received. It also returns the response data to the host computer.  ...
  • Page 56   2.3. Communication commands (SF to CPU) ※Make the host computer ready to receive commands all the time.    When a normal or automatic measurement event in response to S commands is ① completed normally: The equipment returns measurement results in following order. Order Format Delimiter...
  • Page 57   When the automatic wetting operation in response to R commands is completed ② normally: Format Delimiter Response data desription "STBY" <CR> When completing automatic wetting operation.   If the equipment has initiated a normal measurement, automatic wetting operation ③ when it receives an R, S or P command: The equipment ignores the command received and returns the state of present measurement operation.
  • Page 58   While in the standby condition, the equipment receives an E or P command or the low ⑤ battery voltage alarm is generated: Further, while in the standby condition -with the low battery voltage alarm being generated, the equipment receives an E, R, S or P command: The equipment returns the state of being in standby condition, present parameter settings and alarm condition.

  • Page 59: Appendix B Printer Communication Specifications

    APPENDIX B Printer communication specifications   With the SF-1 or SF-2 connected to a dedicated printer with a dedicated cable, the results can be printed out. Connection 1.1. Printer specifications (RS-232C-compliant) Pacing synchronization (asynchronous) system ① Data bit 8bits/1character ② Stop bit 2bits ③...
  • Page 60   Printing out specifications Following measured datas will be printed out when the measurement is completed. Print format (Normal measurement)  Ex.1 Ex.2     **** STD.TEMP 25.0 ﾟ C**  **** STD.TEMP  0.0 ﾟ C**    **** Ordinal**** Ordinal    FLOW RATE   1.984 l/min  FLOW RATE   1.984 ml/min    TEMPERATURE  24.8 ﾟ C  TEMPERATURE   9.9 ﾟ C    AT.PRESSURE 1013.0hPa ...

This manual is also suitable for:

Sf-2u

Table of Contents